新材料产业“十二五”重点产品目录（全）

新材料产业“十二五”重点产品目录（全）(4)

编号	产品名称	主要性能指标	关键技术装备	主要应用领域
53	12英寸硅单晶抛光片	直径 300mm，满足 90nm、 65～ 32nm线宽集成电路要求，GBIR≤1μm； SFQR≤65nm；翘曲＜ 35μm；金属污染少于 0.5×1010atom/cm³；边缘去除 2mm	硅单晶生长的稳定控制技术、硅片精密加工和表面处理技术，直拉单晶炉、抛光机	微处理器、存储器、芯片
54	区熔硅单晶片	直径 125～ 150mm，电阻率 1～ 10000ohm·cm，无位错、无旋涡；径向电阻率不均匀性＜ 15%	区熔硅单晶生长与缺陷控制技术，区熔单晶炉	电子电力器件、微波单片集成电路、探测器
(二 )	新型半导体材料
55	砷化镓单晶材料	直径 76.2～ 100mm、 EPD≤10000	垂直布里奇曼法 /垂直梯度冷凝法 (VB/VGF)， VB/VGF砷化镓单晶炉	LED、 LD光电领域
56	蓝宝石材料	直径＞ 50mm、位错密度＜ 1000/cm 2	泡生法晶体生长工艺，泡生法蓝宝石单晶炉	LED衬底
57	碳化硅晶片	直径 ≥100mm、微管密度为 8～ 10个 /cm 2	SiC单晶生长技术；低缺陷、低成本 SiC单晶片制备成套技术，单晶炉	电子电力器件、半导体照明
58	氮化镓外延片	直径 ≥100mm	高效外延生长技术，外延炉	半导体照明
(三 )	薄膜光伏材料
59	碲化镉薄膜	1平方米以上模块，光电转化效率＞ 10%	气相沉积技术	太阳能电池
60	铜铟镓硒薄膜	光电转化效率＞ 10%	磁控溅射热蒸发、镀膜技术	太阳能电池
61	铜铟硫薄膜	光电转化效率＞ 8%	铜带铜铟硫技术，电镀、热处理炉	太阳能电池
四	其他功能合金
(一 )	高性能靶材
62	超高纯铝、钛、铜溅射靶材和蒸发颗粒	厚度 3～30mm，直径 50～600mm、矩形靶材长宽 (100～800)mm×(20～ 200)mm，蒸发颗粒 Ф3～ 10mm、薄片 (3～20)mm×(3～ 20)mm、纯度 4N5～ 6N、晶粒细小均匀	超高纯金属提纯、微观组织控制、异种金属扩散焊接和精密加工技术，电子束熔炼炉、大吨位油压机、数控加工中心	集成电路镀膜、 Low－E节能玻璃镀膜、太阳能电池镀膜
63	超大尺寸高纯铝、铜、铬、钼溅射靶材	长宽 (500～ 3000mm)×(150～ 900mm)、厚度 6～ 40mm、纯度3N5～ 5N5，晶粒细小均匀、致密度＞ 98%	大尺寸高纯金属熔炼、大尺寸难熔金属粉末烧结技术、靶材热机械处理技术、大面积钎焊焊接和精密加工技术，热等静压机、宽板轧机、钎焊台	平面显示用薄膜、工具镀膜、 Low-E节能玻璃镀膜
64	高纯铜合金、镍合金和钼溅射靶材	纯度 3N5～ 5N、合金成分偏差 ≤±10%、晶粒细小均匀、致密度 >98%；管型靶材长宽 1000～ 3000mm、外径 80～ 200mm、壁厚 3～30mm；平面靶材长宽 (200～ 2000)mm×(50～300)mm、厚度 3～ 30mm	多元合金熔炼技术，大尺寸管靶成型技术，靶材与背板焊接技术，真空熔炼炉、数控加工中心、平面磨床	太阳能电池镀膜
65	高纯钼及其靶材	厚度 8mm以上、宽度＞ 700mm、 5N级高纯材料、密度＞19.1g/cm³、组织均匀	大规格钨、钼板制备技术；靶材集成技术，稀有金属板材轧机、高功率电子束熔炼炉	微电子、新一代信息产业
66	高纯钨及其靶材	直径 510mm、厚度 5mm以上、宽度＞ 450mm、 5N级高纯材料、密度＞ 19.1g/cm³、组织均匀	材料提纯与合金化、成型技术，热压烧结炉、大规格钨板制备技术，靶材集成技术	太阳能电池镀膜

编号	产品名称	主要性能指标	关键技术装备	主要应用领域
67	高纯钽及其靶材和环件	8英寸硅片用靶材及环件、 12英寸硅片用靶材及环件，纯钽纯度＞ 99.99%、靶材晶粒尺寸 100微米以下、焊接结合率＞ 95%、靶材与环件加工尺寸精度 0.05mm、靶材粗糙度＜ 8μm、靶材与环件包装净化度 100级、 90～ 28nm配线	材料提纯与合金化；锻造与热处理；焊接；精密机加工；净化清洗与包装，轧机；热处理炉；电子束焊机、大型油压机、热等静压机；精密加工中心，净化清洗与真空包装设备、高功率电子束熔炼炉	半导体芯片配线镀膜
68	钨钛靶材	厚度 5mm以上、宽度＞300mm、纯度 99.9%，高趋向、密度＞10.4g/cm³、组织均匀	合金均匀化技术、取向技术，稀有金属板材轧机	微电子、新一代信息产业
69	钛铝、镉铝靶材	最大长度 1m、纯度 99.5～ 99.8%、相对密度 96～ 99%	粉末冶金技术，热等静压机	工具镀膜
70	氧化锌铝太阳能电池系列靶材	纯度＞ 99.95%、相对密度＞ 99%；平面靶最大长度 400mm；管靶长度＞ 300mm	粉末烧结技术，冷等静压机、烧结炉、热等静压机	太阳能电池镀膜
71	硅铝太阳能电池系列靶材	管状靶最大长度 4m或者 5m，氧含量＜ 6000PPM，氮含量＜ 1000PPM	等离子喷涂技术及其设备	太阳能电池镀膜、 Low-E玻璃镀膜
72	镍钒太阳能电池系列靶材	管状靶最大长度 4m、纯度 99.5～ 99.9%	真空熔炼炉、锻锤、轧机	太阳能电池镀膜
73	铜铟镓硒太阳能电池系列靶材	纯度＞ 99.9%、相对密度＞ 99%	粉末烧结、真空熔炼、喷涂，烧结炉、热等静压机、真空熔炼炉、锻锤、轧机、等离子喷涂设备	太阳能电池镀膜
74	铟锡氧化物靶材	纯度＞ 99.9%、相对密度＞ 98%	热压烧结炉	平面显示镀膜
75	高纯铬靶材及蒸发颗粒	纯度 99.9～ 99.95%	电解铬提纯，制粉、热压工艺	平面显示薄膜
(二 )	先进储能材料
76	磷酸铁锂正极材料	比容量 ≥160mAh/g、循环寿命＞ 3000次	前驱体制备技术、气氛控制烧结技术、纳米化技术、表面碳包覆技术	锂离子动力电池
77	镍钴锰三元氧化物正极材料	比容量 ≥150mAh/g、循环寿命＞ 2000次	前驱体制备技术、高温固相合成技术	锂离子电池、锂离子动力电池
78	钴酸锂正极材料	比容量 ≥140mAh/g、循环寿命＞ 1000次	材料合成、掺杂改性技术	锂离子电池
79	尖晶石锰酸锂正极材料	比容量 ≥110mAh/g、循环寿命＞ 2000次	高温固相合成、元素掺杂改性技术	锂离子动力电池
80	高性能球形氢氧化镍电池材料	比容量 ≥250mAh/g、循环寿命＞ 2000次	控制结晶、管道式合成连续生产技术及装备	镍氢动力电池
81	富锂锰基固溶	比容量 ≥200mAh/g、循环寿命＞ 2000次	前驱体制备技术、气氛控制烧结技术、纳米化技术、表面改性技	锂离子电池、锂离子动力电池