编号 | 产品名称 | 主要性能指标 | 关键技术装备 | 主要应用领域 |
40 | 银铟镉材料 | 晶粒度: 4~ 6级, Ra≤1.6μm,直线度< 0.25mm/300mm,密度 10.12~ 10.22g/cm³,涡流探伤参考缺陷的面积是棒材横截面积的 3% | 熔炼、热处理、精整和成型技术,真空感应炉、管棒材热处理设备、精整设备和变颈成型设备 | 核电 |
(四 ) | 稀贵金属材料 | | |
41 | 贵金属纳米催化材料 | 粒子粒度 ≤50nm、吸氢量 ≥1200ml/( g·min) | 催化活性位结构和分布的调控技术、螯合体系还原技术和化学嫁接技术、助剂对催化剂性能的调变技术,载体处理装置、催化剂制备釜、还原釜、过滤装置 | 精细化工 |
42 | 铑催化材料 | 金属含量为 5%、金属粒子粒度 ≤30nm、吸氢量 ≥800ml/( g ·min) | 催化活性位结构和分布的调控技术、螯合体系还原技术和化学嫁接技术 | 医药行业 |
43 | 钯催化材料 | 金属含量为 5%、金属粒子粒度 ≤50nm、吸氢量 ≥1200ml/( g·min) | 催化活性位结构和分布的调控技术、助剂对催化剂性能的调变技术,载体处理装置、催化剂制备釜、还原釜、过滤装置、分包装置 | 液晶材料 |
44 | 铂催化材料 | 金属含量为 3%、金属粒子粒度 ≤30nm、吸氢量 ≥1200ml/( g·min) | 催化活性位结构和分布的调控技术、螯合体系还原技术和化学嫁接技术 | 颜料、染料 |
45 | 贵金属化合物及均相催化剂 | 辛酸铑,纯度> 99% | 一步法合成技术,双层有机反应釜、保护气氛过滤装置、 | 抗生素合成 |
46 | 高活性铂系电极浆料 | 铂粉结晶度>10000、烧结厚度 7~ 12μm;响应时间: λ=0.98~ 1.02时< 150ms, λ=1.02~ 0.98时< 75ms,电压:λ=0.93~ 0.97时> 800mV、 λ=1.05~ 1.10时电压< 200mV | 超细铂粉制备、铂粉的高结晶度化技术、铂浆高温烧结活化,激光粒度分析仪、高温烧结炉、三辊研磨机、离心脱泡机 | 汽车、摩托车、燃气轮机、锅炉用氧传感器,燃料电池催化电极 |
三 | 半导体材料 | | |
(一 ) | 硅材料 | | |
47 | 大直径硅单晶 | 直径 300~ 450mm,电阻率 1~ 15ohm·cm,无位错,氧含量: 5×1017/cm³~ 1.5×10 18/cm³;碳含量< 1ppma | 目标电阻率范围控制、材料纯度与氧含量控制技术,大直径单晶炉、截断机 | 集成电路 |
48 | 冶金法太阳能级多晶硅 | 低成本、低能耗,纯度 6N以上, B< 0.15ppm、 P< 0.35ppm | 熔炼炉、熔渣炉、先进湿法冶金系统、定向固化炉等 | 太阳能电池 |
49 | 电子级多晶硅 | 纯度在 9N以上 | 三氯氢硅法、四氯氢硅法、硅烷法 | 集成电路 |
50 | 8英寸重掺硅单晶片 | 直径 200mm,电阻率 1~ 25×10 -3ohm·cm,电阻率径向变化≤15%, TTV≤5μm, SBIR≤1μm | 低阻重掺技术、背封和多晶硅沉积工艺,单晶炉、切片机 | 集成电路、高端功率器件 |
51 | 8英寸轻掺硅单晶片 | 直径 200mm,电阻率 11~ 16ohm ·cm,满足 0.13μm线宽集成电路要求,径向电阻率变化 ≤8%、 TTV≤3μm、 SFQR≤ 0.2μm | 生长缺陷控制、抛光工艺,单晶炉、抛光机 | 存储器、微处理器 |
52 | 8英寸硅单晶外延片 | 直径 200mm,外延厚度为目标值 ±1.5%以内,电阻率片内均匀性能达到 3%以内,表面颗粒 ≤30ea/wf | 外延厚度和电阻率均匀性控制,表面清洗工艺,外延设备、清洗机 | 模拟电路、分立器件、功率集成电路 |